FIB微纳加工、制备TEM/APT样品,配备有EBSD、EDS、CBS(ECCI)和STEM探头,可开展三维重构形貌、EDS和EBSD表征。
FIB微纳加工、制备TEM/APT样品,配备有EBSD、EDS、CBS(ECCI)和STEM探头,可开展三维重构形貌、EDS和EBSD表征。
高分辨率成像:130万倍形貌观察,10 nm颗粒,这是FIB应有二次电子成像分辨率
微纳加工:可以用Nanobuilder加工极其复杂的三维立体结构
制备TEM样品:lift out常规操作,薄区均匀,Pt保护样品最表层不受损伤
定点用Lift-out模式制备TEM截面样品
EBSD辅助定点用Plane-view模式制备TEM平面样品
制备自组装粉体材料的TEM样品:大球的直径几个微米,但单个颗粒的直径几有10-20 nm,FIB切开做球差电镜表征
备注:右边图片中右下角中的阴影,是由于网站自动生成水印所致,并非FIB制备样品的薄区不均匀。
原位SEM芯片加热样品制备
原位TEM芯片加热样品制备
原位TEM拉伸样品制样
FIB原位抛光/切割后,直接做EBSD测试,不需要取出样品来,可防止氧化
纳米尺度软硬两相材料,传统制样方式无法解析小尺寸硬相,采用FIB切割+EBSD测试,直接解决问题
大面积全自动拼接技术:设置好拍照区域的面积,设备可自动成像并拼接成超大面积的高分辨图片
大面积EBSD测试技术:设置好EBSD测试区域的面积,全自动进行数十,甚至数百个区域的EBSD测试,并拼接成为一张图
FIB制备APT针尖+TKD对针尖晶体取向分析:定点制备特定晶界的APT样品