聚焦离子束显微镜是金属研究所（IMS）电镜中心自筹经费采购的第一台大型仪器设备，到货日期是2021年7月26日。我们开启了一个由科学家自筹经费建设科研平台，开展科学研究的全新模式。这也是我们倡议并尝试构建全新科研生态与合作联盟的新起点，具有重要的里程碑象征意义。
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仪器配置与指标参数
1)    T1
分割式透镜内低位探测器、T2 透镜内高位探测器

2)    ETD
— Everhart-Thornley 二次电子探测器

3)    DBS
— 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器

4)    STEM3+  可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF)

5)    Thermo
Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵

6)    GIS
气体注入：— 铂沉积 — 碳沉积

7)    AutoTEM
4软件：用于最快速、最简单的高度自动化TEM样品制备

8)    AS&V4软件：自动化连续刻蚀和观察，采集切片图像、EDS或EBSD图像三维重构

9)    Avizo
三维重构及分析软件

10)  Thermo
Scientific MAPSTM软件：用于大区域的自动图像采集、拼接和关联

11）Nanobuilder批量自动化图案设计与微纳加工

12)  原位拉伸台、压缩台、纳米压痕台

仪器主要功能与应用场景

1)    ETD、CBS、STEM、BF成像

2)    制备高质量TEM、原位加热/力学样品，原子探针等样品

3)    大面积SEM/EDS/EBSD拼接

4)    SEM/EDS/EBSD三维重构

5)    SEM/EBSD原位拉伸及压缩