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球差校正TEM

功能介绍

设备简介:双球差校正器,STEM高分辨+原子尺度EDS、EELS mapping。配备超级能、STEM-iDPC,EELS等附件,可开展研究型测试工作

合作方式
平台/硬件型号或软件版本
FEI Themis Z (60-300 KV)
案例 1

FEI已经被Thermofisher收购了,但作为一位从FEI年代开始使用TEM的“老”人来说,还是在内心也不太能接受这样一个“被”改名的事实。于是,便在自己的这个平台上,最后一次倔强的使用“FEI Themis Z”的称呼, 当作是对过去FEI公司的怀念,以及向这家公司对电子显微行业贡献的致敬(虽然没少在中国赚钱)。

对FEI的这一特殊情怀,本人于2021年10月16日在东莞召开的全国电镜会议上,向Thermofisher应用总监Erwan Sourty博士交流过,有幸还能找到一年前的合影,这都权当作纪念了吧。

FEI是最早推出球差电镜的厂家,从Titan Cubic, 到Titan Themis, 再到Themis Z,以及最新的Spectra,其球差校正器的稳定性和STEM分辨率,一直在提升,目前STEM分辨率可以达到 60 pm。
2、球差电镜型号
FEI/Thermo scientific Themis Z (60-300 KV);

3、仪器配置与指标参数

双球差校正器:TEM分辨率0.1nm,STEM分辨率0.06 nm;

高低压成像模式:60KV,  200KV,  300KV;

四探头超级能谱:Super EDS;

Mono单色器:超高能量分辨率 ~0.2 eV;

EELS:Gatan Quantum 1065 with Dual EELS;

DPC/iDPC:对电/磁畴和轻元素成像(O, N和C等);

4、仪器主要功能与应用场景

STEM HAADF/BF 高分辨成像;

原子尺度EDS mapping;

原子尺度EELS mapping,表征元素化学价态及基分布;

低压STEM高分辨:针对不耐辐照样品;

轻元素原子尺度成像;

磁畴/电畴DPC成像;