1、前言



截止2022年5月20日，我们的电镜已经安装完毕。除了EELS部分的调试工作还未完成外，其他安装工作均已完成。此台设备的安装过程，我们进行了B站全网直播，第一次向社会大众展示高端电子显微镜的安装过程。



TEM自主安装过程的部分视频，在B站上有回放，感兴趣的欢迎点击视频链接：

《场发射TEM安装视频》



2、设备配置与技术参数



加速电压： 200 kV

高分辨极靴 (S-TWIN)

放大倍数：25-1,000,000

点分辨率：0.24nm

线分辨率：0.14nm；

STEM分辨率：优于0.2 nm

电子束能量色散：< 0.7eV

全新牛津能谱仪 (EDS)：5B～92U；能量分辨率：～136eV

样品最大倾斜角：±40度



3、仪器选件及功能

X射线能谱仪（EDS）（用于样品成分分析）

电子能量损失谱 （EELS）(用于元素价态分析)

STEM和HAADF探头（用于测试STEM-HAADF暗场像，并于EDS结合测试点、线、面的元素分布）

双倾样品杆（用于测量需要两个方向倾转的样品）



4、检测项目

低倍形貌像、高分辨像、选区电子衍射、暗场像、成分分析、元素分布、价态分析和元素过滤像。



5、检测标准

JY/T 011－1996 透射电子显微镜方法通则